EUV
极紫外光刻（Extreme Ultra-violet），常称作EUV光刻，它以波长为10-14纳米的极紫外光作为光源的光刻技术。具体为采用波长为13.4nm 的紫外线。极紫外线就是指需要通过通电激发紫外线管的K极然后放射出紫外线。
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EUV光刻机困住高端芯片 复旦教授点明国产芯片新方向
无论是信息化时代到来, 芯片在电子产品中的重要性日趋凸显;还是华为因为高端芯片供不应求,导致手机业务受阻,都让国内芯片厂商看到了芯片国产化替代的重要性。为了实现芯片的国产化自研,中芯国际、紫光展锐等国产芯片厂商投入大量的研究资本以及人力寻求突破
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ASML最新EUV光刻机曝光：精细到1nm
全世界能生产EUV光刻机的厂商就一家,那就是荷兰的ASML。为何只有ASML能够生产EUV光刻机?原因在于ASML绑定了好多的巨头,且是独家合作的,比如蔡司、比如德国TRUMPF公司,这些巨头在极紫外线制造技术,收集技术上达到极致,无可取代
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ASML宣布在台湾建海外培训中心 旨在辅导台积电EUV光刻制造集群
ASML近日宣布，将在台湾的南部科学园区建立自己在海外（荷兰之外）的首个培训中心，旨在就近辅导台积电所领导EUV光刻制造集群。
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