第三阶段:新千年 ASML的崛起

1997年,英特尔攒起了一个叫EUV LLC的联盟。联盟中的名字个个如雷贯耳:除了英特尔和牵头的美国能源部以外,还有摩托罗拉、AMD、IBM,以及能源部下属三大国家实验室:劳伦斯利弗莫尔国家实验室、桑迪亚国家实验室和劳伦斯伯克利实验室。

这些实验室是美国科技发展的幕后英雄,之前的研究成果覆盖物理、化学、制造业、半导体产业的各种前沿方向,有核武器、超级计算机、国家点火装置,甚至还有二十多种新发现的化学元素。

资金到位,技术入场,人才云集,但偏偏联盟中的美国光刻机企业SVG、Ultratech早在80年代就被尼康打得七零八落,根本烂泥扶不上墙。于是,英特尔力邀ASML和尼康加入EUV LLC。但问题在于,这两家公司,一个来自日本,一个来自荷兰,都不是本土企业。

当时的美国政府将EUV技术视为推动本国半导体产业发展的核心技术,并不太希望外国企业参与其中,更何况八九十年代在半导体领域压了美国风头的日本。

但EUV光刻机又几乎逼近物理学、材料学以及精密制造的极限。光源功率要求极高,透镜和反射镜系统也极致精密,还需要真空环境,配套的抗蚀剂和防护膜的良品率也不高。别说日本与荷兰,就算是美国,想要一己之力自主突破这项技术,可以说比登天还难,毕竟美国已经登月了。

最后,阿斯麦同意在美国建立一所工厂和一个研发中心,以此满足所有美国本土的产能需求。另外,还保证55%的零部件均从美国供应商处采购,并接受定期审查。所以为什么美国能禁止荷兰的光刻机出口中国,一切的原因都始于此时。[4]

错失EUV的尼康,还未完全失去机会,让它一蹶不振的,是盟友的离开。当时的英特尔为了防止核心设备供应商一家独大,直到22nm还是一直采购ASML和尼康两家的光刻机。

但备胎终究是备胎,一转身,英特尔就为了延续摩尔定律的节奏,巨资入股阿斯麦,顺带将EUV技术托付。

另一边,相比一步步集成了全球制造业精华的阿斯麦,早年间就习惯单打独斗的尼康在遭遇美国封锁后,更是一步步落后,先进设备技术跟不上且不提,就连落后设备的制造效率也迟迟提不上来。

而佳能在光刻机领域一直没有争过老大,当年它的数码相机称霸世界,利润很好,对一年销量只有上百台的光刻机根本不够重视。

这边旧人哭,那边新人笑:2012年,英特尔连同三星和台积电,三家企业共计投资52．29亿欧元,先后入股阿斯麦,以此获得优先供货权,结成紧密的利益共同体。

终于,在2015年,第一台可量产的EUV样机正式发布。正所谓机器一响,黄金万两,当年只要能抢先拿到机器开工,就相当于直接开动了印钞产线,EUV光刻机也因此被冠上了“印钱许可证”的名号。

可以说,整个西方最先进的工业体系,托举起了如今的阿斯麦。而一代霸主尼康,也自此彻底零落在历史的尘埃之中。

结语

ASML虽然是一家荷兰公司,但是其背后却由美国的资本掌控,同时很多关键的零部件也来自美国。美国在半导体产业的强大,不仅仅在于设计,EDA,制造等方面技术领先,更是掌控着整个产业链。而光刻机,是其中尤为重要的一环。

另外像ASML这样的企业,不在美国还有一大好处,就是避免了美国有反垄断法,(AMD作为Intel的对手,Intel也不希望AMD倒下,否则将面临巨额罚款)这家企业放在美国,可能会被分为2家。容易导致人才和资金的分散,研发速度下降,甚至恶意竞争,最终被其他企业反超。

纵观光刻机半个多世纪的发展史,ASML抓住了历史的机遇,同时也是美日半导体博弈中的幸运儿,在三家半导体巨头:英特尔、三星、台积电的支持下,成为了半导体行业的巨人!